一.概念 微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的.集微型机构.微型传感器.微型执行器以及信号处理和控制电路.甚至外围接口.通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统.其主要特点有:体积小(特征尺寸范围为:1μm-10mm).重量轻.耗能低.性能稳定,有利于大批量.降低成本,惯性小.谐振频率高.响应时间短,集约高技术成果.附加值高.微型机械的目的不仅仅在于缩小尺寸和体积.其目标更在于通过微型化.集成化.来搜索新原理.新功能的元件和系统.开辟一个新技术领域.形成批量化产业. 微型机械加工技术是指制作为机械装置的微细加工技术.微细加工的出现和发展早是与大规模集成电路密切相关的.集成电路要求在微小面积的半导体上能容纳更多的电子元件.以形成功能复杂而完善的电路.电路微细图案中的*小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术标志.微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄模图形的先进制造技术.目前微型加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺中发展起来的硅平面加工和体加工工艺.上世纪八十年代中期以后在LIGA加工(微型铸模电镀工艺).准LIGA加工.超微细加工.微细电火花加工(EDM).等离子束加工.电子束加工.快速原型制造(RPM)以及键合技术等微细加工工艺方面取得相当大的进展. 微型机械系统可以完成大型机电系统所不能完成的任务.微型机械与电子技术紧密结合.将使种类繁多的微型器件问世.这些微器件采用大批量集成制造.价格低廉.将广泛地应用于人类生活众多领域.可以预料.在本世纪内.微型机械将逐步从实验室走向适用化.对工农业.信息.环境.生物医疗.空间.国防等领域的发展将产生重大影响.微细机械加工技术是微型机械技术领域的一个非常重要而又非常活跃的技术领域.其发展不仅可带动许多相关学科的发展.更是与***科技发展.经济和国防建设息息相关.微型机械加工技术的发展有着巨大的产业化应用前景. 二.国外发展现状 1959年.RichardPFeynman(1965年诺贝尔物理奖获得者)就提出了微型机械的设想.1962年**个硅微型压力传感器问世.气候开发出尺寸为50-500μm的齿轮.齿轮泵.气动涡轮及联接件等微机械.1965年.斯坦福大学研制出硅脑电极探针.后来又在扫描隧道显微镜.微型传感器方面取得成功.1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60-12μm的利用硅微型静电机.显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力. 微型机械在国外已受到政府部门.企业界.高等学校与研究机构的高度重视.美国MIT.Berkeley.StanfordAT&T和的15名科学家在上世纪八十年代末提出"小机器.大机遇:关于新兴领域--微动力学的报告"的***建议书.声称"由于微动力学(微系统)在美国的紧迫性.应在这样一个新的重要技术领域与其他***的竞争中走在前面".建议中央财政预支费用为五年5000万美元.拥有美国领导机构重视.连续大力投资.并把航空航天.信息和MEMS作为科技发展的三大重点.美国宇航局投资1亿美元着手研制"发现号微型卫星".美国***科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划.从1998年开始.资助MIT.加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发.年资助额从100万.200万加到1993年的500万美元.1994年发布的<美国国防部技术计划>报告.把MEMS列为关键技术项目.美国国防部**研究计划局积极领导和支持MEMS的研究和军事应用.现已建成一条MEMS标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发.美国工业主要致力于传感器.位移传感器.应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究.很多机构参加了微型机械系统的研究.